Impianto Sputtering KOLZER DGK 36
- Codice: ABBK001
- Marca: Kolzer
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Descrizione:
- Marca/make KOLZER
- Modello/type DGK36
- Impianto Plasma / PECVD / Metalizzazione
- Diametro camera/chamber diameter 1000 mm
- Lunghezza camera/chamber lenght 1100 mm
- Satelliti/satelites n° 6 / 4
- Diametro satelliti/satelites diameter n° 280 / 330
- Lunghezza utile satelliti/satelites working lenght 1005 mm
- Sorgenti plasma/plasma sources n° max 2
- Sorgenti PECVD/PECVD sources
- Tempo vuoto /empty time 4 minutes
- Portata pompa/pump capacity ROOTS mc / h 2000
- Comando ciclo automatico/automatic cycle command
- Acqua di raffreddamento/cooling water L / h 600
- Potenza installata/installed power kW 30
- Potenza assorbita/power consuption kW 15
- Peso impianto/plant weight kg 20
- Già dotato dei planetari per contenere oggetti all’interno
- Anno/year 2014
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