Impianto Sputtering KOLZER DGK 36

Impianto Sputtering KOLZER DGK 36
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Codice: 
ABBK001
Marca: 
  • Marca/make KOLZER 
  • Modello/type DGK36
  • Impianto Plasma / PECVD / Metalizzazione
  • Diametro camera/chamber diameter 1000 mm
  • Lunghezza camera/chamber lenght 1100 mm
  • Satelliti/satelites n° 6 / 4
  • Diametro satelliti/satelites diameter n° 280 / 330
  • Lunghezza utile satelliti/satelites working lenght 1005 mm
  • Sorgenti plasma/plasma sources n° max 2
  • Sorgenti PECVD/PECVD sources
  • Tempo vuoto /empty time 4 minutes
  • Portata pompa/pump capacity ROOTS mc / h 2000
  • Comando ciclo automatico/automatic cycle command
  • Acqua di raffreddamento/cooling water L / h 600
  • Potenza installata/installed power kW 30
  • Potenza assorbita/power consuption kW 15
  • Peso impianto/plant weight kg 20
  • Già dotato dei planetari per contenere oggetti all’interno
  • Anno/year 2014
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